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制造度垂直有机电化学晶体管阵列的新策略

导读 有机电化学晶体管 (OECT) 是一类基于有机超导材料的新兴晶体管,以其响应施加到栅极的电压的微小变化而调制电流的能力而闻名。与其他基于...

有机电化学晶体管 (OECT) 是一类基于有机超导材料的新兴晶体管,以其响应施加到栅极的电压的微小变化而调制电流的能力而闻名。与其他基于有机半导体的电子产品一样,这些晶体管有望用于开发各种受大脑启发的可穿戴技术。

OECT 具有各种显着的优势,包括有前途的放大和传感能力。低驱动电压和通用结构。尽管有这些优点,但迄今为止开发的大多数传统 OECT 都存在各种局限性,包括稳定性有限和氧化还原过程缓慢,这会严重损害其性能。

西北大学的研究人员最近概述了一种制造度和机械柔性 OECT 的新策略。他们提出的方法在Nature Electronics的一篇论文中概述,用于创建基于 OECT 阵列和电路的各种电子元件。

“有机电化学晶体管 (OECT) 可用于创建生物传感器、可穿戴设备和神经形态系统,”Jaehyun Kim、Robert M. Pankow 及其同事在论文中写道。

“然而,有机半导体微米和纳米图案的限制,以及拓扑不规则性,往往限制了它们在单片集成电路中的使用。我们表明,通过电子束曝光对有机半导体进行微图案化可用于创建度(每 cm2高达约 720 万个 OECT)以及机械灵活的垂直 OECT 阵列和电路。”

为了制造他们的 OECT 阵列,Kim、Pankow 和他们的同事首先将 p 沟道和 n 沟道有机半导体薄膜暴露于直接电子束中。这种方法被称为电子束光刻(eBL),使他们能够在半导体薄膜上产生图案,而无需使用可能损坏材料的掩模或化学溶剂。这使得薄膜不具有电子活性(即绝缘),而不会影响其传导离子的能力。

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