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三氟化氮有毒吗
三氟化氮有毒吗
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三氟化氮有毒吗
】三氟化氮（NF₃）是一种无色、无味的气体，广泛应用于半导体制造和等离子体蚀刻工艺中。虽然它在工业上有重要用途，但其
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