研究人员找到了提高激光加工分辨率的新方法

通过透明玻璃聚焦定制的激光束可以在材料内部产生微小的光斑。东北大学的研究人员报告了一种利用这个小光斑来改善激光材料加工、提高加工分辨率的方法。

他们的研究结果发表在《光学快报》杂志上。

激光加工与钻孔和切割一样，在汽车、半导体和医药等行业至关重要。超短脉冲激光源的脉冲宽度为皮秒至飞秒，可实现微米至数十微米尺度的精密加工。但最近的进展需要更小的尺寸，低于 100 纳米，这是现有方法难以实现的。

研究人员专注于具有径向偏振的激光束，即矢量光束。该光束在焦点处产生纵向电场，产生比传统光束更小的光斑。

科学家们发现这一过程对于激光加工来说很有前景。然而，一个缺点是，由于空气-材料界面处的光折射，该场在材料内部减弱，限制了其使用。

东北大学先进材料多学科研究所 (IMRAM) 副教授 Yuichi Kozawa 感叹道：“我们采用油浸物镜(生物显微镜中常见的东西)来激光加工玻璃基板，克服了这个问题。”纸。 “因为浸油和玻璃的折射率几乎相同，所以穿过它们的光不会弯曲。”

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